| Nguvu ya kutoa leza | 20W, 30W, 50W |
| Urefu wa wimbi la leza | 1064nm |
| Mara kwa mara ya marudio | 20-80KHz |
| Aina ya leza | Leza ya nyuzi |
| Eneo la kazi (kawaida) | 110*110mm-300mm*300mm |
| Kina cha kuashiria | 0.01mm-0.5mm |
| Usahihi unaorudiwa | 0.002mm |
| Upana wa Mstari wa Chini | 0.01mm |
| Tabia ya Chini | 0.2mm |
| Kasi ya kuashiria | 0-7000mm/s inayoweza kubadilishwa |
| Ugavi wa umeme | 220V/50Hz |